Chinas SMIC und Huawei seien in der Chip-Technologie vorangekommen und hätten sich den US-Beschränkungen widersetzt, die darauf abzielten, ihre technologischen Fortschritte einzudämmen, sagte Burn J. Lin, ein ehemaliger TSMC-Vizepräsident Bloomberg in einem seltenen Interview. Er glaubt, dass die ASML-Lithographiewerkzeuge, die SMIC bereits besitzt, es dem Unternehmen ermöglichen werden, zu einem Herstellungsprozess der 5-nm-Klasse überzugehen.
„Es ist den USA einfach nicht möglich, China vollständig daran zu hindern, seine Chip-Technologie zu verbessern“, sagte Lin Bloomberg.
Obwohl die USA durch Sanktionen technologische Beschränkungen auferlegten, hat SMIC bei der Entwicklung seines Herstellungsprozesses der 7-nm-Klasse der zweiten Generation bemerkenswerte Widerstandsfähigkeit und Einfallsreichtum bewiesen. Außerdem wurden Erträge erzielt, die so hoch waren, dass Huawei Pläne zur Lieferung von 70 Millionen Smartphones schmieden konnte. SMIC nutzte angeblich das Twinscan NXT:2000i-Lithographiegerät von ASML, einen Lithografiescanner für tiefes Ultraviolett (DUV), mit dem Chips hergestellt werden können Prozesstechnologien der 7-nm- und 5-nm-Klasse. Die Exporte dieses Werkzeugs nach China wurden Anfang des Jahres von der niederländischen Regierung eingeschränkt.
Die Auflösung des Twinscan NXT:2000i (≤38 nm) ist gut genug für die Massenproduktion von Single-Patterning-Lithografien der 7-nm-Klasse. Bei Prozesstechnologien der 5-nm-Klasse ist jedoch eine feinere Auflösung erforderlich. Um es herzustellen, können Chiphersteller Doppel-, Dreifach- oder sogar Vierfachmusterung verwenden, eine lithografische Technik, bei der ein komplexes Muster in mehrere einfachere Muster aufgeteilt wird, die nacheinander gedruckt werden, um eine höhere Präzision und Detailgenauigkeit bei der Halbleiterfertigung zu erreichen. Der Einsatz von Multi-Patterning ist ein heikler Prozess, der sich auf die Ausbeute und die Menge an Chips pro Wafer auswirkt, die verwendet werden können. Daher ist der Einsatz aus wirtschaftlichen Gründen in der Regel begrenzt.
Da SMIC jedoch auf Tools beschränkt ist, die es bereits besitzt, hat es keine andere Wahl, als Multi-Patterning für feinere Auflösungen zu verwenden. Offenbar ist es gelungen, für Huawei akzeptable Erträge zu erzielen. Daher stellt sich die Frage, ob die Maßnahmen der US-Regierung gegenüber dem chinesischen Halbleitersektor funktionieren.
„Was die USA wirklich tun sollten, ist, sich darauf zu konzentrieren, ihre Führungsrolle im Chipdesign zu behaupten, anstatt zu versuchen, Chinas Fortschritt einzuschränken, was vergeblich ist, da China eine landesweite Strategie verfolgt, um seine Chipindustrie anzukurbeln, und der Weltwirtschaft schadet“, sagte der ehemalige Berichten zufolge soll Lin, Vizepräsident für Forschung und Entwicklung bei TSMC, dies gesagt haben.
Interessanterweise scheinen die US-Sanktionen unbeabsichtigt Chancen für SMIC eröffnet zu haben. Die TSMC auferlegten Beschränkungen, die es ihr untersagen, mit bestimmten chinesischen Unternehmen Geschäfte abzuschließen, haben es SMIC ermöglicht, einzugreifen und aus umfangreichen Aufträgen Kapital zu schlagen. Dieser Wandel hat es SMIC ermöglicht, seine Fertigungstechniken und technologischen Fähigkeiten zu verbessern.