Tag: Lithowerkzeuge
Russische Forscher entwickeln Werkzeug zur Chipherstellung, das Lithowerkzeuge ersetzen kann
Forscher der Polytechnischen Universität St. Petersburg (SPbPU) haben einen inländischen Lithografiekomplex für die maskenlose Chipproduktion mittels Ätzen entwickelt, ein wichtiger Faktor für die Selbstversorgung Russlands mit der Mikroelektronik, heißt es…