Tag: EUVTool
ASML liefert dieses Jahr das erste EUV-Tool mit hoher NA aus: 300 Millionen US-Dollar pro Scanner
ASML ist auf dem besten Weg, in diesem Jahr den branchenweit ersten Lithographiescanner für extremes Ultraviolett (EUV) mit einer numerischen Apertur (NA) von 0,55 auszuliefern, sagte der Vorstandsvorsitzende des Unternehmens…